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光刻k1系数

相关系数的困难光刻过程
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描述

每一代的集成电路是基于较小的几何图形,这需要改善分辨率的光学光刻技术用来吸引他们。投影系统可以打印的最小特征尺寸大约是:
MFS = k1 xλ/ NA

地点:

MFS是最小特征尺寸或临界尺寸
λ是光的波长
NA的数值孔径镜头从晶片
和k1是一个封装流程相关的系数因素。

图表显示了一系列k1的趋势特征尺寸和一些软件的技术用于扩展能力小的几何图形。


图的导师图形

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