通过模式标准相比,FSAV没有有益的影响,但防止介质击穿。
本文评估自对准块(SAB)通过(FSAV)和完全自对准方法模式使用车辆(imec节点5海里)然后把金属2自对准四模式。我们分析SAB印刷适性光刻过程中使用流程优化,并演示的SAB对模式产生的影响(8平方米x 6 M1行x 6通过行)结构。我们表明,FSAV标准通过模式相比,没有有益的影响,但可以防止介质击穿之间的两个相邻M1。
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