中文 英语
知识中心
导航
知识中心

柔性混合电子(FHE)

柔性基板上的集成电路
受欢迎程度

描述

柔性混合电子,或FHE,是一种创造具有电子功能的柔性、可拉伸或一致性设备的方法。它们将印刷的和先进的基于cmos的组件结合在一个灵活的,通常是塑料聚合物薄膜基材上。

打印芯片用于工业操作中的温度和振动监测,以及可应用于皮肤上的柔性传感器,它们正在测试刚性芯片不适合或难以替代的应用。

许多印刷电子产品依赖于现有的印刷技术。喷墨是小批量应用中最普遍的,它已被证明是一种低成本但相对较慢的选择。除此之外,还有像胶印和凹印这样的技术,由于能够大批量打印精确的层,它们已经越来越受欢迎。凹版技术是一种将图像蚀刻在印版上的技术,它可以追溯到19世纪,当时它被用于制作高质量的艺术印刷品。胶版印刷用于报纸的时间更长。还有一些研究是利用现有的芯片光刻设备在柔性衬底上创建更复杂的结构。

制造有效的印刷电子产品的关键是油墨的化学性质和稳定性,以及它们如何切块、与基材粘合以及校准精度和可靠性。与所有半导体一样,重点在于可重复性、一致性和规模经济。

特别是FHE,指的是不是所有组件都需要灵活的设备。某些芯片足够薄和小,它们可以用金属氧化物光刻技术放置在柔性基板上制造,而不是印刷。

将硅电路无损地转移到柔性衬底上是一项挑战。转移技术主要分为三类。第一类,暴力方法,使用机械和/或化学抛光来使半导体变薄。第二,外延层剥离,依赖于选择性横向去除嵌入牺牲层,例如蚀刻。

第三种方法是通过基材开裂进行机械剥离,也称为剥落。控制剥落首先在基底上沉积具有高断裂韧性和固有拉应力的亚稳膜。例如,预拉伸镍可以沉积在极薄的绝缘体上硅(ETSOI)器件上。然后使用柔性胶带拉动镍层,直到底层衬底失效,在埋在地下的氧化物下面约20微米处开裂。

FHE是一个新兴领域,大多数项目由政府、研究机构或风险投资机构资助。技术和标准化工作正在不断变化。

多媒体

电子产品的新路线图

Baidu