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覆盖

平版印刷扫描仪在彼此的顶部精确地对齐和打印各种层的能力。
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描述

覆盖和对准功能发生在光刻扫描仪。简单来说,叠加是通过使用晶圆片和十字线上的对准标记来调整晶圆片级位置和十字线级位置来完成的。这样重复大约100次,以暴露一块晶圆上的一个掩模层。

在晶圆厂,芯片制造商可能有三个基本的和独立的控制环覆盖功能自动过程控制(APC);CPE;以及扫描仪基线控制回路,根据GlobalFoundries和KLA-Tencor。

基本上,APC是决定晶圆厂工具操作和其他功能的中心系统或控制器。一种称为R2R的APC技术允许在工具之间修改加工参数。

CPE是一个独立于APC的控制回路,改善了整个晶圆厂流程中的覆盖。根据GlobalFoundries和KLA-Tencor的说法,这种静态CPE循环在每个设备和层中实现一次。然后,扫描仪回路校正扫描仪内的机械和光学漂移。

三个控制回路——apc、CPE和扫描仪回路——独立地将数据来回传输到扫描仪、计量工具和其他齿轮中。但是,这种方法效率低,耗时长,目前正在开发新的方法以简化这一过程。


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