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薄膜

一种薄膜,阻止光掩模的污染。
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描述

薄膜是一种薄,透明膜覆盖光掩模在生产流程。薄膜是一种防尘罩,防止粒子和污染下降的面具。它还必须足够透明,允许光传输从光刻扫描仪的面具。

薄膜是ic制造供应链的一个重要组成部分。今天的光学光掩模由一个不透明的玻璃衬底层铬。在生产流程中,扫描仪会产生不必要的粒子和污染。几十年来,工业用薄膜的面具。的薄膜光学掩模是基于一个薄的聚合物材料。

EUV薄膜必须把EUV光刻进入大规模生产,至少在逻辑芯片。如果一个粒子落在一个EUV掩模,扫描器可能会打印一个不必要的晶圆缺陷。

理论上,薄膜将散热EUV光照射到薄膜时,可以上升到600到1000摄氏度。但在这些温度,也有担心EUV薄膜可能恶化加工过程中,造成损害的EUV掩模和扫描仪。

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