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石刻冻结石刻蚀刻

一种双重图案。
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描述

岩石冻结-岩石蚀刻(LFLE)是岩石蚀刻-岩石蚀刻(LELE)过程的一种变体。在LFLE,有两个光刻步骤和只有一个蚀刻步骤。在第一步中,使用光刻技术将图案暴露在衬底上。然后,图案被“冻结”或涂上一层化学处理,即抗蚀剂。然后,图案经过光刻步骤,使密度加倍,然后是蚀刻过程。


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