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金属有机化学气相沉积(金属)

领导的一个关键工具生产。
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描述

金属或金属有机化学气相沉积,是用于LED生产的关键工具。金属也是III-V应用程序中使用,如射频与光电。它有时被称为金属有机气相外延(MOVPE)。

在金属,纯气体注入反应堆。原子的工具存款薄层到晶圆上。反过来,这创造了一个水晶,或外延生长的材料。

LED的基本构建块领导是GaN-based n-GaN / InGaN p-GaN异质结结构。每个LED制造商有一个专有的金属配方,这是一个严守的秘密。

基本上,金属是一种具有挑战性的艺术形式。第一个挑战是生长层具有良好的一致性。所有权的总成本是便宜的。保持了行业竞争力,全年所有权成本(首席运营官)必须每五年下降50%,根据美国能源部。外延增长成本必须下跌0.3美元/我¼马·cm2今天0.1美元/我¼马·cm2到2016年,据专家。此外,外延吞吐量必须从今天5 2英寸晶圆一个小时增加到10 2英寸晶圆到2016年,他们说。和圆片均匀性必须从1.7 nm今天0.5 nm,到2016年,他们补充说。

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