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双重模式方法

彩色和无色流双图案
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描述

设计人员与双重模式(DP)所带来的约束进行交互的方式非常依赖于所使用的设计方法。一个关键的DP方法决策是设计师是否会看到所有的颜色。这就是所谓的“无色”设计流程。另一种选择是双色流程,设计师在几个分解选项中选择一个,取出两个掩模。任何设计流都有折衷之处,因此最终您必须基于什么对您的组织最有利以及您的代工将支持哪些流来决定。

该图说明了四种可能的DP设计流程。前三个流程是双色流程,其中设计师为任何将有双图案的层抽出两个单独的“颜色”层。第四种流程是“无色”流程,在这种流程中,设计师只取出一层,而铸造厂将其分解为两层。前三个流之间的区别在于创建这两个层所涉及的自动化级别。

彩色的
在手动分解流程中,设计师手工绘制两个蒙版层。利用传统的设计规则检查(DRC)工具作为掩码之间的间距约束来验证分解的准确性。设计师手动决定如何在两个掩码中实现设计。手工分解布局可能非常耗时和困难,而且在一个大块上,不切实际。由于这个原因,其他流程更为常见。

在自动分解流程中,设计人员绘制单个层。EDA工具然后自动将该层分解为两个掩模,并使用传统的DRC操作进行检查。还可以运行专门的奇周期DP检查,以帮助设计师更好地理解导致任何分解错误的完整多边形交互集。

混合分解流是前两者的混合。设计人员可以手动执行一些分解,然后让EDA工具自动分解并检查设计的其余部分。当设计师将先前分解的单元格合并到仍然位于一层的新布局中时,通常会使用此流程。

无色
在无色流程中,设计人员从不生成两个掩模层,而是依靠EDA工具中的专门奇循环检查来确定不能正确分解的位置。必须修改单层,直到这些检查干净为止。然后,在卸膜后,铸造厂将布局分解为两层。

虽然无色流不需要设计人员分解图层,但在布局中可能存在设计人员想要控制多边形着色的特殊情况。例如,将电源轨道和接地轨道放在特定的掩码上可能很重要,或者在模拟电路中,“匹配的”设备可能需要相同地分解,以确保它们的性能匹配。在这些情况下,“锚”标记用于将这些特殊请求传递给代工厂使用的分解工具。这些锚点通常是放置在“织物”多边形上的指定层标记,将它们分配给特定的蒙版。EDA工具将分解受指定多边形影响的未分配多边形。

下图显示了绘制的设计和分解的布局如何查找这些流。在无色选项中,绘制的布局只包含一个多边形层。在foundry进行分解之后,将为该布局生成两个层。在锚点示例中,尽管仍然只有一个绘制层,但有锚点标记迫使电源和接地轨道位于一个蒙版上,并将一个内部形状约束到另一个蒙版上。正如您在分解中看到的,多边形颜色(蒙版分配)与第一个示例不匹配,因为工具使用了锚点标记。

原创内容由导师图形


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