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蚀刻(LELE)

乐乐是双重图案的一种形式
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描述

蚀刻-蚀刻(LELE)是一种双重图案的形式。乐乐也叫劈音。在LELE中,执行两个单独的光刻和蚀刻步骤来定义单个层,从而使图案密度加倍。最初,这种技术将不能用一次曝光打印的布局分开,形成两个低密度的掩模。然后,它使用两个单独的曝光过程。这又形成了两种大致的模式。它们被组合和叠加,这使得晶圆上的单个图像更精细。

LELE对设计人员提出了新的布局、物理验证和调试要求。例如,在设计方面,蒙版层根据间距要求分配颜色。蒙版图层从最初绘制的布局中拆分或分解为两个新的图层。

一个关键的方法决策就像你是否希望设计师看到颜色一样基本——“无色”设计流程。另一种选择是双色流程,设计师在几个分解选项中选择一个,取出两个掩模。当然,任何设计流程都需要权衡。

在20nm工艺上,晶圆代工厂采用了几种不同的双模制程设计流程。一个更常见的流程实际上不需要设计团队将其层分解为两种颜色。然而,在有些情况下,设计师可能想知道颜色分配将是什么。尽管这听起来很合理,但看到双重模式颜色很可能会降低调试效率。


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