最大化双模式错误调试的效率。
晚饭前你刷牙吗?睡觉前穿鞋吗?洗衣服之前先熨一下?好吧，忘了最后一个吧。现在没人熨衣服了，是吗?无论如何，我的观点是，如果你想从一个过程中获得最好的结果，顺序是非常重要的。双重模式(DP)错误调试也是如此。
正如我所讨论的，在20/16/14nm技术节点上使用LELE双模制层时，可能会出现许多类型的错误。因此，我多次被问到“设计师是否应该采用一种更好的方法来处理各种类型的DP错误?”这实际上是一个非常好的问题，简短的回答是肯定的，处理错误的顺序会对调试工作的效率产生很大影响。现在是更长的答案……
在DP设计层中，您可能会遇到五种类型的错误(不包括与使用缝合相关的错误)。以下是我建议设计师调试这些错误的顺序:
根据我的经验，遵循这个顺序可以最大限度地减少修复所有这些错误所需的工作量，并限制在列表后面的其他检查中出现的误导性结果的混乱。让我解释一下。
第一种误差类型是传统的最小对掩码间距误差。这种错误类型是第一个，因为它是最基本的错误，因为它只涉及两个多边形，只与一个空间隔离，并且没有可能的着色解决方案来解决该错误。当您打破基本的最小间距约束时，还可能在其他错误类型中引起许多其他噪声，如图1所示。
图1:最小对掩模间距误差在奇周期DP误差中引起噪声。
在左边，两个多边形违反了最小对掩模间距约束。这种基本间距违反在布局中创建对角线尖端到尖端分隔符约束，这将导致四个多边形之间出现两个奇循环违反。作为奇循环违例建议设计师，他们可以调整任何涉及到奇数周期的空间来“修复”这个问题，设计师可以修复奇数周期，但不能修复原来的最小间距违规!设计师可能会在只需要修复一个的情况下进行两个修复。如右图所示，如果最小间距违反是固定的，奇数循环甚至不会发生，因此您可以一次性解决这两个问题。
列表中的第二个错误类型是自冲突相同掩码间距错误。这些是单个多边形，它们之间有缺口空间，违反了最小相同掩模间距约束。这种错误类型也是孤立于单个多边形的非常基本的错误。由于与这些错误相关的多边形与其他多边形相互作用，它们还可以形成其他错误类型(图2)。
图2:自冲突相同掩码间距误差在奇周期DP误差中引起噪声。
在左边，红色多边形与自身冲突。这个错误通常通过突出显示多边形来标记。在此布局示例中形成的分隔符约束将创建一个奇数循环错误。同样，修复自冲突错误也会修复奇周期错误。
我们列表中的第三个错误类型是锚自冲突错误类型。同样，这种错误类型是孤立于单个多边形的非常基本的错误。当单个多边形有多个冲突的锚点请求时，会发生此错误。这些错误会在锚路径错误上引起一些相当有趣的噪声。图3显示了这个问题。
图3:锚点自冲突误差导致锚点路径误差噪声。
在左边，有一个多边形，有两个不同颜色的锚标记重叠在一起。着色工具不知道给多边形分配哪种颜色，所以它会随机选择遵循哪种颜色。给定分隔符与其他多边形的相互作用，存在一条从该多边形向下到底部多边形的路径。如果工具随机选择遵循蓝色锚定请求，则会创建到底部绿色锚定多边形的锚定路径错误。如果工具随机选择绿色锚点，则不会显示锚点路径错误。通过修正基本锚点的自冲突误差，锚点路径误差的结果变得确定，而不是随机的。
现在您已经解决了所有基本的、孤立的错误类型，只剩下更远程的奇数周期和锚路径错误类型。我建议首先修复奇数周期错误，因为它们会与锚路径错误相互作用(图4)。
图4:奇周期误差与锚路径误差相互作用。
左边是奇循环误差。由于分隔符与其他多边形的相互作用，该奇循环与顶部和底部的两个锚定多边形相互作用，因此也存在锚定路径误差。奇数周期要求设计师在周期中涉及的三个空间中固定一个。无论哪一个是固定的，锚路径误差也将是固定的，如图所示。
然而，反过来就不对了。如果设计师试图先固定锚点路径，他们可能会选择固定顶部锚点与中间多边形之间的空间，或者底部锚点与中间多边形之间的空间。这两种调整都可以修复锚路径错误，但不能修复奇周期错误。出于这个原因，在固定锚路径之前先修复任何奇怪的循环错误更有意义。
别误会我的意思。我并不是说如果你不听从我的建议，你就永远不会得到一个干净的设计。你可以按照你喜欢的任何顺序成功地达到设计结束，修复错误。我的意思是，随机修复各种DP错误类型可能会导致额外的设计更改和不必要的调试混乱，我希望我提供的指导能让您更有效率。我很想听听你在DP调试方面的经验，以及改变错误调试的顺序是否对你有帮助。
在下一篇博客中，我们将开始研究可能出现在高级节点中的另一种新型多模式，称为SADP。难道你不喜欢学习另一种类型的多模式吗?下次见!
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