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原子层腐蚀(ALE)

酒是一种下一代蚀刻技术选择性地、准确地删除目标材料在原子尺度。
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啤酒是一种很有前途的下一代蚀刻技术,已经在研发过去数年,但直到现在已经有很少或不需要使用它。与传统蚀刻工具,去除材料在连续的基础上,啤酒将选择性地、准确地去除目标材料在原子尺度。

随着行业从10 nm迁移到7海里finFETs壕沟或鳍之间的差距将缩小到10到15埃或5原子。通常情况下,芯片制造商使用一个蚀刻工具去除材料在制造这些微小的战壕内流。但有迹象表明,传统蚀刻工具正在努力做这个工作在这些先进的节点。为了执行这个艰巨的任务,该行业可能需要一类新的蚀刻工具如啤酒,可以有选择地删除超薄材料或仅仅是原子在不损害周围的结构。

啤酒是单层蚀刻与腐蚀剂etch-cycle动态吸附解吸腐蚀产品。然而,并不是所有的啤酒的工具都是相同的。工具厂商菲尔丁或发展啤酒似乎采取不同的方法。

林研究讨论啤酒。基本上,该公司正在实施更多的传统的和连续的啤酒的过程。为此,首先注入所需的化学室和分散的表面上。这一步中,被称为“反应”,形成了一个表面活性层。然后,有一个清除步骤中,被称为“反应B。“在这一步中,离子或其它化学去除不想要的部分结构。然后重复的步骤。

一般来说,氯是一种更常见的反应物(反应)用于硅、锗和III-V材料,根据林研究。氩可以用于去除步骤。总的来说,啤酒行业已经20材料评估,根据林。

还有其他方法。应用材料使用等离子体产生蚀刻化学室里有两个不同的领域,混合离子、自由基和中性色。块的系统还包括硬件干扰离子,使所需的表面化学驱散。视线外更重要的是,这是一个技术。

日立高新技术有两个啤酒产品。我们利用一个ECR技术与几个硬件修改为高吞吐能力。另一室提供反向ALD过程能力没有non-etched层表面损坏。

电话销售传统蚀刻产品以及气体化学蚀刻系统(Certas)啤酒。

行业发展热啤酒,消除材料各向同性或单向的基础。对于各向同性的应用程序,ALE工具注入气体分子,可以在任何地方旅行,允许它潜在的等离子啤酒不能做事。等离子体和热啤酒可以用来完成不同的任务。

开发也进行了混合plasma-thermal啤酒。

选择性的啤酒是另一个技术研发。今天的酒,工具删除目标结构。选择性啤酒需要这一步,允许一个特定材料的腐蚀表面。

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