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设计规则模式匹配

使用模式匹配技术定位设计规则。
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描述

为了帮助设计人员通过设计实现找到复杂的功能,物理验证和DFM工具可以使用模式匹配技术。也就是说,设计人员可以简单地复制被识别为问题的特定功能(布局的一部分),并将其放入模式库中。然后指示DFM工具在整个布局中搜索该模式的所有实例。当然,该工具必须足够智能,以考虑图案的不同方向和位置,甚至图案尺寸的微小变化,如设计师所指定的。一旦确定了问题特性,设计人员就可以采取适当的措施来修改或消除它们。然后还可以使用该工具对模式进行小的更改,使其符合一组预定义的规则。

设计的限制和影响已经远远超出了45nm及以下的简单长度/宽度测量。

模式匹配用自动化的可视化几何捕获和比较过程取代了冗长的、多操作的基于文本的设计规则,该过程显著减少了规则甲板的大小,并提高了设计规范的原始意图与其实现之间的一致性。该技术使设计人员能够实现复杂的设计约束,还有助于确保设计、制造和测试团队之间的一致性和更流畅的沟通。由于模式匹配是实际几何图形之间的直接可视化比较,因此提高了精度和精度,并且大大简化了调试。

在模式匹配工具中寻找的一些典型特征包括:

  • 允许设计人员从头创建和编辑图案的绘图环境
  • 通过GUI从现有布局中自动捕获模式
  • 批处理过程,使用DRC运行中的错误标记在一个步骤中识别和捕获问题模式
  • 能够指定精确匹配或添加带有模式约束的受控可变性
  • 能够与所有主要设计环境进行互操作

使用基于模式的方法来处理DRC的好处如下:

  • 通过简化和自动化复杂的物理验证或设计方法检查的创建,减少规则甲板开发所需的时间,以前使用基于文本的脚本很难或在操作上不可能创建这些检查。
  • 通过执行以前难以或不可能执行的物理验证检查来减少设计的可变性。
  • 通过提供实际几何图形之间的直接可视化比较来简化调试,使其更容易理解和修复违规。
  • 制造和设计之间更快的更新,能够快速准确地实现最近确定的产量限制模式。
  • 通过允许设计、制造和测试团队跨多个工具共享模式库,提高跨流程和团队之间的一致性和准确性。可以为特定的设计方法、制造过程或其他分类创建模式库。
  • 通过使用实际模式(而不是基于文本的抽象)来创建复杂的检查,改善设计师和晶圆厂/代工之间的沟通。

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