中文 英语
知识中心
导航
知识中心

电子束检验

一种寻找较小缺陷的较慢方法。
受欢迎程度

描述

在电子束检测系统中,电子在工具内产生,然后撞击模具表面。电子散射并反弹回探测器,使其能够发现芯片中的缺陷。相比之下,光学检验,电子束检测具有明显更高的灵敏度-在1nm范围内。但它比光学慢得多,检查一个完整的晶圆可能需要几个小时,如果不是几天的话。

正因为如此,电子束检查只用于检查模具的一小部分缺陷,通常在光学无法发现某些缺陷时。这种情况经常发生在研发部门,需要定位和根除有问题的缺陷。然后,在晶圆厂,芯片制造商使用光学检测工具来监控和发现生产中的芯片缺陷。

电子束检测也用于电压对比缺陷应用。为此,外部偏差应用于设备。然后,电子束分析结构图像对比度的变化,以定位芯片中的短路、开口和空洞。

所有电子束检测系统都是由几个运动部件组成的复杂系统,包括电子枪、柱、探测器和晶圆工作台。在操作中,晶圆被放置在一个系统中。然后,在系统中,电子枪产生电子,这些电子沿着圆柱向下移动。

在这一点上,一个舞台移动晶圆到给定的位置。然后,电子击中骰子上的一小部分。这反过来创建了一个骰子的图像。将图像与数据库进行比较,以确定是否存在缺陷。

一个系统产生两种类型的电子,次级电子或后向散射电子,以帮助识别设备中的缺陷。二次电子是低能电子,它们从样品中反弹回来并提供表面信息。后向散射电子深入样品。

电子束的速度太慢,无法检查完整的晶圆,所以它被用来检查芯片的一小部分。吞吐量以每小时mm²为单位。光学工具的测量单位是每小时片数。

设备制造商可提供单波束和多波束检测系统。

Baidu