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半导体制造

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半导体制造工艺通常分为两类。前端(FEOL)是制造晶体管的地方backend-of-the-line (BEOL)是设备内形成互连的地方。互联而在每个节点上都变得越来越紧凑,这导致了芯片中的电阻-电容(RC)延迟。

在一个设备中,有两种类型的BEOL互连线:中间线和全局线。中间线在设备中提供较低的连接。与RC延迟相关的问题在于连接中间层的全局电线。更复杂的是,芯片制造商从20nm开始插入了另一个布线层次。该方案被称为中线(MOL),在设计中涉及本地互连。


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