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连接晶体管和第一层铜互连层的结构。
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触点是一个微小而独特的结构,它连接着晶体管用第一层铜互联在设备中。一个芯片可以有数十亿个联系人。

触点是带有小间隙的三维结构,其中充满了导电材料钨。钨结构被称为钨塞,夹在衬垫材料(钛)和阻挡层(氮化钛)之间。整个结构称为触点。

问题是每个节点的接触都变得越来越小,这反过来又导致了设备中不必要的接触电阻。电阻表示电流通过导体的困难程度。

从历史上看,触点并没有得到那么多的关注,但业界开始担心前沿芯片设计中的触点电阻或接触电阻。到目前为止,半导体行业已经能够扩大触点及其相关的金属化方案,这是基于钨。但在某种程度上,人们担心钨将失去动力,促使该行业探索新的和未来的金属化方案,包括基于钴的方案。

触点是在back-end-of-line (BEOL)在晶圆厂的制造阶段。


图2:各个节点上的互连、接触和晶体管。资料来源:应用材料。


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