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制造执行系统(MES)

追踪晶圆厂的晶圆。
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描述

制造执行系统(MES)监控、跟踪和记录工厂生产货物的过程。它还可以管理资源分配、操作调度、过程控制以及数据收集和分析。MES位于企业资源规划软件和车间控制设备等业务软件之间。

在半导体晶圆厂,MES通常包括从批次和批次级到晶圆和单元级的串行化和在制品(WIP)跟踪。MES还可以提供质量和产量分析和控制,例如根本原因分析、分箱和审计跟踪报告。晶圆厂的特殊功能还包括网线管理、掩模清洗、掩模和模具维护。

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