合作会导致研究进展。
2016年3月,Coventor应邀参加一年两次的合作伙伴技术周(PTW)在鲁汶IMEC,比利时。IMEC,世界领先的纳米技术研究小组,组织他们的伴侣技术周每六个月向伴侣提供科学的结果。在本周,一些专家从IMEC的许多合作公司也讨论他们IMEC相关领域的研究进展。这个事件汇集了大量的工程师在他们的领域专家,并提供了一个有趣的论坛利用IMEC及其合作伙伴获得的科学知识。
SEMulator3D Coventor的虚拟制造软件,是目前用于四个主要群体在IMEC:逻辑,互连、光刻和记忆。IMEC工程师使用它来执行校准物理预测模拟等先进技术的甲板N7 FEOL BEOL。Coventor协作IMEC的逻辑和互连集团几年前开始,展示了优秀的结果。今年,我们有机会与IMEC项目使用新的RC萃取能力SEMulator3D 6.0版。这个项目,与盖尔IMEC的默多克,SEMulator3D用来模拟完全一致通过铜休会。使用新的电容提取功能,盖尔创建了一个能源部与电容提取偏差。由于这种模拟,盖尔能够比较不同流程和强调潜在的过程问题。
通过铜休会方法完全一致——盖尔默多克
记忆组中,一个重要的腐蚀与能源部CMP变异是由stt - ram项目小组,由大卫。Crotti。大卫。提出工作完成,SEMulator3D校准MTJ蚀刻步骤,定义CMP规范和腐蚀沟模块。本实验设计的目的是制定实验模型中允许变化的范围。
stt - ram -大卫。Crotti
马特·加拉格尔,光刻组海报在甲板PTW强调仿真验证和它的使用在IMEC N7 / N10平台。SEMulator3D用于生成大约100万虚拟晶片来量化不同模式的影响过程和比较不同的校准方案。这个过程变化实验分析两种EUV vs DUV模式,以及不同的设计结构。作为一个例子,马克生成200个随机高斯值叠加在M1和V0水平,相比i193和EUV等不同的过程。这项工作的大部分是基于IMEC N10 Supernova2过程在M1 V0级别,但马特还显示一些初步结果使用IMEC的N7过程。
N10 Supernova2过程——马特加拉格尔
Coventor还创建了一个方法将强迫症计量设备测量到SEMulator3D虚拟制造实验通过一个接口与NOVA-MARS多渠道计量建模引擎。IMEC呈现结果在光刻会话PTW使用这个接口,在IMEC人员Twin-Peak流程建模仿真的结果证明了。这个模型被用来模拟鳍腐蚀缺陷和产生现实的结果强调过程的可变性问题。
SEMulator3D中使用相当多的其他项目在IMEC和有大量的有趣的和令人兴奋的工作发生了。我希望能够在IMEC报告其他有趣的仿真工作。我的下一个PTW的博客。
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