老鼠的大脑多波束;multi-scan探测器;x射线记录。
老鼠的大脑多波束
在最近的学报先进光刻技术会议,Sematech提供一个更新的多波束、电子束检验程序。
目标是开发新一代检验工具,可以比传统快电子束检查,可能有一天取代brightfield检查。“光学检验难以探测粒子小于20 nm,”本杰明Bunday说,在Sematech高级技术人员。“当然,电子束检验可以克服。但是,当然,它非常慢。”
在其研发项目,Sematech最近与蔡司。蔡司本身设计了一个61 -束电子束检查工具,为生命科学领域主要是发达国家。最初,蔡司工具被用来检查器官。”(蔡司)有一个工具,最初是在检查(使用)看着老鼠的大脑,“Bunday说。
Sematech希望蔡司工具规模超过61束。工具的研发组织还希望裁缝蔡司半导体行业,这将匹配或超越传统电子束检验的吞吐量。
多波束工具仍在开发的早期阶段,但它是一种很有前途的技术。“这是一个α的工具,”他说。“你可以扫描61六角形成小光束,在平行的。我们可以扫描一毫米平方在大约10分钟的视野。”
目前尚不清楚当工具技术将面市。随着时间的推移,Sematech将许可第三方的技术。此外,爱马仕、Maglen和多波束是单独发展多波束电子束检验工具。的首先从供应商的工具可以出现在2015年末或2016年初。
Multi-scan探针
扫描探针显微镜(SPM)是一种形式的技术使用单个物理探测器表面的图像。通过这项技术,高分辨率,但它一直在努力与其他检测系统由于吞吐量问题。
一个研究小组,TNO,开发了一个SPN并行技术,可以测量许多网站。它利用多个微型扫描探针显微镜(MSPM)。
TNO MSPM系统吞吐量超过1000倍,比单个SPM单位。它能够超过每小时10片。它提供了缺陷的检验晶片在sub-10nm决议。它还使缺陷审查能力裸晶圆和空白的面具在1纳米横向分辨率。
该系统由50小平行SPM扫描头。它也有一个机电一体化定位系统,自动探测交换单元,高性能晶片阶段和校准功能。
平行SPM的插图,在晶圆图像几个地方。(来源:TNO)
它可以用来提供各种测量,如表面粗糙度、通道高度、宽度和缺陷检查等。应用包括半导体、太阳能、数据存储、生物医学、制药和食品科学。
x射线记录
的国家标准与技术研究院(NIST)开发了一种新的方式来减少不确定性x射线波长测量。
研究人员利用一个系统被称为电子调零自准直望远镜。有了这个系统,x射线的角度可以测量的不确定性0.06角秒。这是三倍多比一个未校准的编码器系统,根据国家标准。
从NIST-designed激光自准直望远镜(来源:NIST)
一般来说,测量角度x射线测量取决于其能力。x射线波长测量通过光束通过特殊的晶体。然后,系统措施退出射线的角度与原梁。
通过使用重新设计的电子调零自准直望远镜,NIST已经找到了一种方法来减少测量误差。方法使用激光束反射一个镜像多边形。同一轴上的多边形旋转将水晶。
“尽管许多领域需要良好的x射线参考数据,目前的许多测量填补标准参考数据库不是大最数据是在1970年代和往往是不精确的,”说,NIST的拉里•哈德逊在该机构的网站。
NIST的新方法可能在x射线测量设置一项非官方的世界纪录。“如果一个巨大的雨刷拉伸从华盛顿到纽约(364公里),扫出角的其中一个错误,它提示将小于宽度的DVD,”他补充道。
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