基于虚拟制造的先进DRAM电容器模式化工艺窗口评估
在先进的DRAM中，设计紧密封装模式的电容器以增加电池密度。因此，可能需要先进的制版方案，如多重蚀刻、SADP和SAQP工艺。在本文中，我们使用SEMulator3D®中的虚拟制造和统计分析，系统地评估了包括SADP和SAQP模式在内的DRAM电容器空穴形成过程。此分析的目的是在SADP和SAQP模式方案之间获得一个量化的过程窗口比较。
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