IBM Thomas J. Watson研究中心的研究人员发表了一篇题为“纳米片计量学机会的技术准备”的新技术论文。(美国)。
摘要(部分):
“与以前的技术相比，纳米片技术可能会在一些离线技术从实验室过渡到fab时发挥作用，因为某些关键测量需要实时监控。由于半导体行业的计算革命，机器学习已经开始渗透到在线配置中，混合计量系统继续发展。当然，为先前技术开发的计量解决方案和方法也将在这些结构的表征中发挥重要作用，因为诸如线边缘粗糙度、节距游走和缺陷等影响将继续得到管理。我们回顾了之前的相关研究，并倡导未来的计量发展，以确保纳米片技术拥有成功所需的在线数据。”
找到开放获取这里是技术文件．2022年4月出版。
Mary A. Breton, Daniel Schmidt, Andrew Greene, Julien Frougier, Nelson Felix，“纳米片测量技术的技术准备机会的回顾”，J. Micro/ nanopatin。垫。地铁。21(2)021206(2022年4月18日)https://doi.org/10.1117/1.JMM.21.2.021206。
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