方法检测隐藏的缺陷和可变性FEOL和BEOL特征。
布局设计规则扩展非常积极,使没有EUV 7纳米技术节点。结果,实现可接受的性能和产量高容量生产(HVM)已经成为一项极具挑战性的任务。系统的产量和已经成为相当重要的参数的可变性。此外,由于覆盖公差要求和递减过程窗口,可靠性风险由于软短裤/泄漏和软打开FEOL和BEOL也增加到临界水平。第二波的引入EUV 7和5 nm不会帮助显著增加defectivity和在当地边缘粗糙度明显增加。新的表征技术是必要的来识别风险收益率和可靠性。审查设计规则的进化和分类后的收益率和可靠性风险,我们将从Design-For-Inspection例子(DFI)和小说VarScan方法检测无法觉察的缺陷和可变性特征FEOL和BEOL 7海里和下面的技术。
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