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是时候关注中国在装备方面的努力了

也要注意复合半晶圆、材料和晶圆。

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多年来,中国一直在发展自己的半导体设备和材料产业。

其目标是减少对外国设备和材料供应商的依赖。一些中国的设备供应商已经在中国大展拳脚。但总体而言,中国设备企业在市场上几乎没有取得什么进展。

几乎没有人关注中国在装备方面的努力,直到最近有消息称中国正在努力这样做开发自己的极紫外(EUV)光刻技术技术。

现在,也许是时候注意了。

一段时间以来,中国一直被置于显微镜下。中国是全球最大的芯片市场。中国大部分芯片都是从外国供应商进口的,造成了巨大的贸易逆差,至少在半导体领域是如此。

与此同时,中国一直在发展自己的国内半导体产业,希望减少对外国供应商的依赖。不过,到目前为止,中国在这方面的结果喜忧参半。

设备也是如此。中国正迅速成为全球最大的半导体设备市场。和芯片一样,中国的大部分设备都是从外国供应商那里进口的。

2020年,设备供应商看到了全面的强劲需求,尤其是在中国。VLSI Research首席执行官Dan Hutcheson表示:“业务很强劲。“这在很大程度上是由中国推动的。中国正试图购买一切他们能买到的东西,这样他们就可以从美国自给自足,如果美国切断他们的供应的话。设备行业在中国的增长正在抵消其他任何地方的疲软。”

事实上,美国和中国正在卷入一场贸易战。作为这一努力的一部分,美国正在加大中国获取美国技术的难度。

尽管如此,跨国设备和材料供应商主导着中国市场。Applied, ASML, KLA, Lam, TEL等公司在中国都有重要的业务。

所有跨国公司也都在密切关注中国发展自身装备和材料工业的努力。21世纪初,中国发起了一项倡议。该计划被称为“02项目”,旨在通过发展自己的国内晶圆厂设备行业,减少对外国供应商的依赖。随着时间的推移,中国已经为制造流程中的每个环节开发了工具,如清洁工具、蚀刻、沉积、光刻等。

最近,中国政府发布了一项指令,要求中国芯片制造商必须购买一小部分中国制造的设备。不过,到目前为止,这个项目已经产生了适度的结果。在每一个装备领域,中国都落后。而且中国制造工具供应商的全球市场份额很小。

为了了解这一情况,《半导体工程》采访了VLSI研究公司总裁Risto Puhakka。大约18个月前,普哈卡参观了中国的设备供应商。

“当我回来的时候,我的结论是他们资金不足,”普客卡说。“他们缺乏操作。其次,他们缺乏规模。”

一般来说,设备公司需要在全球运营,并支持全球数十亿美元的晶圆厂。“如果你做一个设备项目,它会花费你数亿美元。你必须能够在全球范围内向每个人销售设备,才能真正产生影响。没有数亿美元的资金流入中国的设备领域,”Puhakka说。

并非所有的中国晶圆厂工具供应商都在同一条船上。“中电是个例外。他们得到了充足的资金。他们有我认为是世界级的行动。”

先进微加工设备(AMEC)是一家蚀刻,MOCVD和其他工具的供应商,是中国最大的设备供应商。在某些情况下,中芯一直是一些跨国设备供应商的眼中钉。

普客卡说:“然而,他们正在努力打入中国以外的市场。”“他们已经卖给了海力士。他们已经卖给了台积电。他们正在向一些欧洲客户销售产品。但他们80%到90%的业务都在中国。”

不过,该行业必须密切关注中国的设备行业。据报道,中国正在发展EUV。这是一项极其困难的技术。中国能否在这方面取得成功,可能性不大。

中国还有其他感兴趣的领域,即硅片和材料。不过,到目前为止,中国在这方面几乎没有取得什么进展。

其次,中国是世界上最大的电动汽车市场。其中许多汽车采用了基于碳化硅(SiC)的功率半导体。

例如,中国郑州宇通集团正在开发一款电动公交车。宇通将在动力系统中使用SiC功率半导体。Cree正在这里开发碳化硅动力半轴。Cree首席执行官Gregg Lowe表示:“Cree的技术处于商用和消费市场电动汽车正在发生的巨大变化的核心,我们致力于支持该行业向更高效、更高性能的碳化硅解决方案过渡。”

但与此同时,中国的SiC供应商也出现了。他们不太可能在短期内成功。

不过,中国正在形成一种模式——中国希望制造自己的产品。所以是时候关注了,即使他们在这些领域很少或没有成功。



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