评估性能的互联跨三个流程——单一的波纹,双波纹,semi-damascene。
虚拟制造是用来评估的性能互联(线,通过电阻,电容,等等)在球兼容EUV单一暴露或SADP为三个不同的流程:单一的波纹,双波纹和semi-damascene(减去金属腐蚀)。过程变化的影响这三个流也调查确定流程流的相对重要性,变异,扩展当朝着积极的互联。
论文和演讲k Egelhofer Ruegger, p . Nanja和m . Hargrove林研究公司(美国),从诉讼卷12055年,进步模式材料和流程XXXIX;120550 l (2022)https://doi.org/10.1117/12.2612591
事件:有先进光刻+模式,2022年,美国加利福尼亚州圣何塞
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