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应用功能型自旋玻璃实现亚30节距EUV光刻


光刻胶指标,如分辨率、粗糙度、CD均匀性和整体工艺窗口,往往旨在实现EUV光刻的全部潜力。从材料供应商的角度来看,可以通过优化抗阻力下使用的功能材料来实现对上述指标的改进。衬底层通过提供抗蚀性能,可显著提高抗蚀性能。»阅读更多

PCB和IC技术在中间相遇


表面贴装技术(SMT)的发展远远超出了它的根源,它是一种将封装的芯片组装到没有通孔的印刷电路板上的方式。现在,它正在移动到封装内部,这些封装本身将被安装在pcb上。但是用于高级包的SMT与我们所习惯的SMT不一样。“许多系统包括多个asic,大量内存,这些都集成在…»阅读更多

高级过程控制


Lam Research计算产品副总裁David Fried研究了先进工艺公差的缩小,这对半导体制造的变化有何影响,以及如何在不转向新的晶体管架构的情况下实现规模化的好处。»阅读更多

互联互通挑战不断上升


芯片制造商正在提高他们的14纳米finFET工艺,10纳米和7纳米预计可能在今年晚些时候或明年发货。在10nm及以上的工艺上,IC供应商决定扩展[getkc id="185" kc_name="finFET"]结构的两个主要部分——晶体管和互连。一般来说,在高级节点上,晶体管的缩放仍然具有挑战性。最重要的是,相互连接…»阅读更多

先进光刻技术:摩尔定律继续前进


每年2月,纳米制版技术的专家都会聚集在加州圣何塞,在SPIE高级光刻研讨会上展示他们的路线图、头脑风暴和成果。今年,人们的困惑比以往任何时候都多,部分原因是会议在会议中心(Convention Center)没有标识(但很漂亮)的新宴会厅举行,但主要原因是行业差异。不再有一个s…»阅读更多

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