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技术论文

基于二维逻辑电路的全晶圆集成(Imec)

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Imec的研究人员发表了一篇题为“面向高性能晶体管电路的2D半导体晶圆级集成的挑战”的技术论文。

“在生产中引入用于高性能逻辑应用的高规模2d电路预计将在基于硅薄片的cet器件之后实现。在这里,我们对大规模二维逻辑电路全晶圆集成所需的要求、发展现状以及需要弥合的差距的定义进行了概述。如今,2D设备的典型测试工具是在实验室环境中完全集成的单片设备,但已经证明可以转移到fab环境中更大规模的设备。”

找到这里是技术文件.2022年9月出版。

Schram, T., Sutar, S., Radu, I., Asselberghs, I., 2D半导体高性能晶体管电路晶圆级集成的挑战。广告脱线,202,2109796。https://doi.org/10.1002/adma.202109796。

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