更多的多波束;研发工厂打开;精密卷绕对位。
更多的多波束
多波束电子束市场是一个热门话题。例如,英特尔是安静地在这个过程中的收购IMS奈米制造,开发者多波束的电子束面具编写应用程序的工具。
与此同时,在最近学报先进光刻技术会议,Mapper光刻披露新升级的多波束电子束直写光刻应用程序中使用的工具。
事实上,asic Mapper现在定位系统和其他芯片28 nm节点。“这是一个有效和有吸引力的解决方案生产中低,“说卢多维奇Lattard,光刻技术实验室副经理CEA-Leti。法国研发组织发起了一个名为想象的多波束光刻程序。
经过十年研发、Mapper去年推出其工具flx - 1200。有一段时间,13000年的目标是设计一个梁系统。去年当Mapper介绍了工具,它包括大约1352束。只有70%到80%的光束在操作。
今天,映射器的300毫米,5-KeV工具仍有1352。但在学报,Mapper说,97.5%的光束满足规范。Mapper还提高了光束稳定和对准精度,但是吞吐量与50%的覆盖率只有1片一个小时。
研发工厂打开
Imec已正式开设了新的300毫米洁净室的设施7点,一个操作可以开发芯片技术纳米。
新洁净室4000平方米设施。总的来说,Imec总洁净室面积12000平方米。新洁净室包括一个总投资超过10亿欧元。,弗拉芒政府提供了1亿欧元的资金。约9亿欧元的投资来自与领先的IC制造商共同研发。
安装的第一个工具2016年1月开始。“扩展我们的洁净室为我们的合作伙伴提供了必要的资源持续领先的创新和Imec的成功在未来在本地和全球高科技产业,”卢克Van den霍夫说,“在Imec总裁兼首席执行官,在一份声明中说。
精密卷绕对位
经过近4年的研发,TREASORES项目产生了——第一次水果精密卷绕对位过程用于制造廉价的太阳能电池和发光二极管。
2012年,一群来自欧洲开始TREASORES(透明电极大面积大规模生产的有机光电设备)。项目是由瑞士联邦材料科学与技术实验室(电子探针)。该项目资助的900万欧元欧盟委员会和一个额外的600万欧元从项目合作伙伴。
项目发明了一种以精密卷绕对位技术生产过程的几个新材料透明电极和障碍。几种类型的新电极测试光电设备使用卷长100多米。
它开发了三个electrodes-on-flexible衬底technologies-carbon纳米管、金属纤维和薄的银。一卷OLED光源使用精密卷绕对位技术弗劳恩霍夫研究所有机电子、电子束和等离子技术(弗劳恩霍夫聚全氟乙丙烯)在一层薄薄的银电极。
此外,这项技术被用于提高精密卷绕对位太阳能技术公司Eight19在英国“Eight19 TREASORES项目是成功的,因为它做出了重大贡献:Eight19降低制造成本的塑料太阳能电池。这是通过定制开发和发展的低成本壁垒和电极在项目财团。它是一个重要的一步Eight19的有机光伏基于技术的商业化开发和生产在欧洲,”Michael Niggemann说Eight19首席技术官,电子探针的网站。
|
|
|
|
|
|
|
|
留下一个回复