如何通过实现利用人工智能的频繁模式数据库来提高成品率和晶圆厂生产率。
下面是一个案例研究，描述了如何通过实现基于人工智能的空间模式识别(SPR)和晶圆工艺历史的频繁模式数据库来提高产量和晶圆厂生产率。这一点很重要，因为将空间成品率问题与工艺和工具联系起来通常是作为反应性分析进行的，从而导致晶圆报废或模具损失增加，而这些本来是可以避免的。晶片厂指纹技术的实现基于模式评分主动生成高影响工艺步骤和工具的帕雷托，使生产团队能够更有效地集中精力处理产量限制事件。
来自先进半导体制造会议(ASMC)
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