新技术论文题为“整体评价埋Rails和后端功率Sub-5纳米技术节点”研究人员提出的标准以内,手臂研究,imec。
找到这里的技术论文。2022年7月出版。
s . s . t . Nibhanupudi et al .,“一个整体评价埋Rails和后端功率Sub-5纳米技术节点,“在IEEE电子设备,69卷,没有。2022年8月8日,页。4453 - 4459年,doi: 10.1109 / TED.2022.3186657。
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