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掩模与计量技术趋势


位于法国格勒诺布尔的Aselta Nanographics公司生产基于电子束技术的IC制造晶圆和掩模图形软件,以及用于扫描电子显微镜的先进计量解决方案,最近成为ESD联盟成员。除了令人印象深刻的证书,Aselta是CEA-Leti的衍生产品,电子和信息技术研究机构…»阅读更多

案例研究-三维线键合检验与计量


现代汽车中电子设备的数量不断增加,使得电线键合的检查过程越来越具有挑战性,因为有源器件会缩小,键合的排列方式也很复杂。CyberOptics解决了自动化解决方案的需求,以取代对线键合和回路高度的劳动密集型和不精确的人工检测方法。经过对竞争产品的考虑,……»阅读更多

利用iTF分析提取低介电常数薄材料的内在力学性能


本白皮书重点介绍了优化和使用Bruker的iTF软件包来提取内在的(与衬底无关的)力学性能,特别是对于薄的低k材料。这些考虑因素分为两个主要部分:测量程序(第二节)和iTF执行(第三节)。前者概述了获得适当实验的重要方面。»阅读更多

NIST修改和改进用于检测晶体管缺陷的技术


“我们利用一种调频电荷泵浦方法,在高比例Si/SiO2金属氧化物半导体场效应晶体管中快速方便地测量单个“每周期电荷”。这表明,在SiO2栅介电和Si衬底之间的边界上,可以检测和操纵一个单一的界面陷阱自旋物种(几乎可以肯定…»阅读更多

IC制造工艺的根本性转变


高芯片价值和3D封装正在改变测试执行的地点和方式,加强可靠性设计,并加速工具从实验室向晶圆厂的转移。异构集成和更多特定领域的设计正在给芯片制造商带来一系列的破坏,颠覆了经过验证的晶圆厂流程和方法,延长了制造芯片所需的时间,并延长了制造芯片的时间。»阅读更多

HBM,纳米片fet驱动x射线Fab使用


布鲁克x射线业务副总裁兼总经理保罗·瑞安(Paul Ryan)与半导体工程公司(Semiconductor Engineering)坐下来讨论了x射线计量技术在制造业中的应用,以更好地控制纳米片薄膜堆叠和焊料凹凸质量。SE:你认为目前增长最快的领域是哪里?从应用方面来说,推动你们技术发展的关键因素是什么?Ryan:一个b……»阅读更多

下一代晶体管


纳米片,或者更一般地说,栅极全能fet,标志着最先进节点晶体管结构的下一个重大转变。Lam Research计算产品副总裁David Fried与《半导体工程》杂志讨论了使用这些新型晶体管的优势,以及未来节点的无数挑战,特别是在计量领域。»阅读更多

微球辅助,纳米点,半导体器件的无损计量


摘要:随着半导体行业越来越多地采用更小的结构,存储器和逻辑器件的性能正在不断提高,创新的3D集成方案以及收缩和堆叠策略。由于设计体系结构的日益复杂,光学计量技术包括光谱椭圆偏振(SE)和参考测量(ref…»阅读更多

未知因素导致汽车IC可靠性成本上升


汽车芯片制造商正在考虑各种选择,以提高从传感器到人工智能等各种用途的集成电路的可靠性。但总的来说,它们可能会增加流程步骤的数量,增加制造和包装所花费的时间,并引发人们对需要收集、共享和存储的数据量的担忧。会计高级专业…»阅读更多

关键动作:先进的逻辑器件和CIS受益于使用IRCD计量的应用程序


随着3D NAND以提高容量和速度、降低效率和成本的名义继续垂直扩展,保持通道孔关键尺寸(CD)和形状均匀性变得更加具有挑战性。面对不断上升的高宽高比,解决这些挑战需要新的内联无损计量技术来提供实时过程控制。红外致命一击……»阅读更多

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