摘要
随着半导体行业越来越多地采用更小的结构，通过创新的3D集成方案以及收缩和堆叠策略，存储器和逻辑器件的性能正在不断提高。由于设计体系结构的复杂性不断增加，光学测量技术，包括光谱椭圆测量(SE)和反射测量，由于3D结构测量的能力，已被广泛用于高效的工艺开发和产量提升。然而，越来越多的人要求显著减少SE技术中使用的物理光斑直径;光斑直径至少要比典型动态随机存取存储器的单元尺寸(~30 × 40 μm2)小10倍，才能测量单元内临界尺寸(CD)的变化。为此，本研究展示了一种利用微球辅助超分辨率效应的新型光谱测量系统，通过将光斑直径减小到~210 nm，同时保持足够高的信噪比，实现了极小光斑光谱测量。此外，为基于微球的光谱测量系统引入几何模型，计算虚拟像面放大倍率和对焦深度，提供物镜、微球和样品之间的最佳距离，以获得最佳的成像质量。通过对不同样品的模拟和实验，充分验证了概念的证明。因此，由于其超小点测量能力，该技术在解决当前先进逻辑和存储设备中监测细胞内CD变化的测量挑战方面具有巨大潜力。”
找到这里是开放获取技术论文．公布的02/2022。
权，S, Park, J.， Kim, K.等。微球辅助，纳米点，半导体器件的无损计量。应用光学11,32(2022)。https://doi.org/10.1038/s41377-022-00720-z
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