Microsphere-assisted nanospot,半导体器件的非破坏性测量


文摘”小结构被越来越多地采用在半导体行业,记忆和逻辑器件性能的不断改进与创新的3 d集成方案以及萎缩和叠加的策略。由于设计的架构越来越复杂,光学计量技术包括光谱椭圆光度法(SE)和裁判…»阅读更多

Baidu