从nanoindentation测量获得substrate-independent属性。iTF程序和指导方针,分析半导体应用程序性能的材料。
本白皮书的重点是优化和使用力量的iTF软件包的提取内在(衬底独立)力学性能,特别是对薄,性能的材料。这些考虑分成两个主要部分:测量过程(第二节)和iTF执行(第三节)。前者轮廓的重要方面获得适当的实验数据,这是后送入iTF软件。应该注意的是,假设读者有一个初步的理解Li-Vlassak nanoindentation解决方案和基本原则。
读者可以获得新的见解
作者:Oguzhan Orkut Okudur (imec),克里斯Vanstreels (imec),乌兰Hangen(力量)
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