世界最聪明的激光;EUV掩模检查;1.7美元的显微镜。
世界上最聪明的激光
的布拉斯加-林肯大学设置非正式纪录吗世界上最聪明的激光。
研究人员聚焦激光的亮度比太阳表面的10亿倍。完成这一壮举是使用所谓的Diocles激光布拉斯加-林肯大学的。激光的峰值功率和10-Hz 100 - tw的重复率。
Diocles激光(来源:极端光实验室布拉斯加-林肯大学|)
激光创建不同的x射线脉冲,使研究人员可以观察到光和物质的相互作用的变化。反过来,这可能有一天使高分辨率图像用于医学、工程、科学、安全的应用程序。
在实验室中,研究人员向helium-suspended电子发射激光。目标是衡量激光的光子散射从一个电子。在实验中,研究人员分散光子近1000。在某一阈值,激光改变角度、形状和波长的光子。
“所以轮到你如果事情出现不同的光的亮度,这不是你通常的经验,”唐纳德Umstadter说,利兰和多萝西·奥尔森的物理学和天文学教授,在大学的网站上。”(对象)通常变得更明亮,但除此之外,它看起来就像光水平较低。但在这里,光线改变对象的外观。光线从不同角度,用不同的颜色,这取决于明亮。”
使用激光聚焦最亮的强度有记录以来,物理学家们在极端光实验室产生独特的x射线脉冲比传统的同行更大的能量。研究小组证明这些x射线成像USB驱动器的电路。(来源:极端光实验室布拉斯加-林肯大学|)
EUV掩模检查
NuFlare和保罗谢勒研究所(PSI)正在合作开发技术,代表了一个缺少的那一块极端紫外线的基础设施(EUV) lithography-actinic面具检查,根据一篇论文从最近的时事通讯BACUS。
今天,传统optical-based检验工具被用于寻找EUV掩缺陷。193 nm-based光学检验适用于当前的EUV掩,但光可能失去动力的决议。同时,电子束检查也可以工作,但是它的缓慢的吞吐量。
行业希望13.5纳米光化性检查,它应该是可以找到更多的缺陷比光学EUV掩。不过,有一个问题。今天没有存在这样的工具。
为了解决这个问题,NuFlare PSI合作开发技术被称为重新扫描,根据BACUS一篇论文。光化性缺陷检验平台,建在PSI,使用扫描显微镜(SSCM)和扫描相干衍射散射对比成像(SCDI),根据纸。
是安装在一个原型工具瑞士光源(SLS)。的SLSψ是第三代同步光源与2.4电子伏特的能量。面具检测技术利用一个叫COSAMI的光源。脚印约5 - x 12平方米,源提供了一个“通量约100兆瓦0.5%带宽,”根据。完整的面具检查的吞吐量是7个小时。
在操作中,十字线与光子从同步加速器照亮。“重新扫描工具是基于相干散射的EUV光子的十字线,“根据纸。“照亮某一领域与相干光掩模的光子(通常从一个同步源),远场散射强度是记录在一个像素探测器”。
1.7美元的显微镜
华盛顿州立大学有望成为第一个美国大学安装下一代x光显微镜从蔡司。
Xradia 810超从蔡司使3 d x射线无损成像分辨率50 nm。它采用先进光学改编自同步。170万美元的x射线显微镜将帮助华盛顿州立大学的研究人员开发材料自修复道路、可打印电池和高效的太阳能电池。
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