质量计量如何在保持芯片质量的同时，打破复杂的循环，产生一种半导体过程监测的新方法。
制造半导体是一个非常严格的过程，关键尺寸对设备构成了重大挑战，而且小的工艺偏差可能会导致成品率下降。出于这个原因，测量和监控最关键的工艺步骤一直很重要，以确保在有故障的批次上没有进一步的加工，从而在任何更多的批次被错误加工之前，设备可以恢复到规范。
随着器件结构变得越来越复杂，需要更多的工艺步骤，工艺控制变得更加关键。传统计量学面临的挑战是用所需的灵敏度来描述微小特征。在简化测试结构或监视晶圆上的晶圆厂计量并不一定反映实际结构。实验室计量(例如，TEM, XPS等)是缓慢的，昂贵的，当然，经常是破坏性的。
工艺工程师一直在寻找打破复杂循环的方法，同时保持芯片用户所依赖的质量水平。这项研究产生了一种半导体过程监测的新方法，它比传统方法更简单、更便宜、更省时。这叫做质量计量学。
继续阅读在这里．
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
留下回复