本文提出了一种新的设计架构先进逻辑SRAM细胞使用六个垂直晶体管(载波传输沿Z方向),逐个堆叠起来。虚拟制造技术是用于识别不同的流程集成方案,使该体系结构的制造竞争XY足迹在一个先进的逻辑节点:一个单位细胞面积0.0093 um2中演示了这项工作。这项研究说明了虚拟制造技术寻路可以是一个关键元素,它可以用来识别预期tape-out之前或晶片处理模块开发挑战。
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