技术论文

特定场地成分使用卢瑟福背散射谱获得的信息从周期性纳米结构

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一个新的技术论文题为“area-selective沉积在纳米级模式的量化使用卢瑟福背散射谱”发表IMEC研究员和KU鲁汶。

“我们现在只为纳米级模式的元素分析,数据采集是基于卢瑟福背散射谱(苏格兰皇家银行)。分析基于探测大合奏的相同的纳米结构,”国家。

找到这里的技术论文。Oct.2022出版。

克莱森斯,N。汗,Z.Z.Haghighi,天然橡胶et al .量化area-selective沉积在纳米级模式使用卢瑟福背散射谱分析。17770年Sci代表12日(2022年)。https://doi.org/10.1038/s41598 - 022 - 22645 - 8。Creative commons许可

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