特定场地成分使用卢瑟福背散射谱获得的信息从周期性纳米结构

通过技术论文链接- 10月28日,2022 -评论:0

一个新的技术论文题为“area-selective沉积在纳米级模式的量化使用卢瑟福背散射谱”发表IMEC研究员和KU鲁汶。“我们现在只为纳米级模式的元素分析,数据采集是基于卢瑟福背散射谱(苏格兰皇家银行)。分析基于探测larg……»阅读更多

ASD的过程进行了原位蚀刻室

通过技术论文链接2022年5月- 06 -评论:0

新的研究论文题为“Plasma-based区域选择性沉积减少极端紫外线抵制defectivity和过程改进窗”从电话技术中心,美洲和IBM的研究。文摘:“极端紫外线(EUV)光刻技术克服了重大挑战的逻辑扩展成为一个基本前提的路线图。然而,它仍然受限于stocha……»阅读更多

通过劳拉·彼得斯——3月17日,2022 -评论:0

晶体管扩展达到一个临界点3海里,在nanosheet场效应晶体管可能会取代finFETs满足性能,力量,区域,和成本(PPAC)的目标。一个重要体系结构变化是同样的评价对铜互联2 nm,此举将重新配置权力的方式交付给晶体管。这种方法依赖于所谓埋权力rails (BPRs)和…»阅读更多