使用统计模型的好处在MEMS设计,通过虚拟测试的生殖结构测量梁的临界电压。
本文使用统计模型的好处在MEMS设计,通过虚拟测试的生殖结构测量梁的临界电压。这个电气测量作为功能性指标的晶圆制造过程质量。统计变化工艺参数(材料属性、硅厚度、侧壁角和边缘转变由于蚀刻公差)都包含在我们的研究使用MEMS工艺设计包。这个统计数据用于在蒙特卡罗模拟,评估预期生产变化的影响在我们的测试结构的性能。
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