欧盟FIB项目;氢脱钝光刻。
欧盟FIB项目
欧盟(EU)启动一个新项目开发新一代的结构和材料使用聚焦离子束(FIB)系统。
欧盟项目,被称为聚焦离子技术纳米材料或FIT4NANO牵头的Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR)组织。该项目旨在将欧洲研究人员和公司一起开发新的FIB-based技术和应用程序。来自30个国家的大约80名实验和理论工作小组参与该项目。
FIT4NANO欧盟的部分欧洲科技(成本)项目合作。这个项目是为FIT4NANO提供每年高达120000欧元。
在市场多年来,打在许多应用程序中使用。在操作中,样品被放在一个无伤大雅的系统。FIB系统使用一束离子,可修改或“磨”标本表面纳米精度,根据热费希尔科学。无伤大雅的谎言可以产生微小组件或删除不需要的材料。
使用一个无伤大雅的谎言,FIT4NANO项目希望开发功能纳米结构,2 d材料和其他技术。另一个应用程序包括一个氦离子显微镜系统的开发,采用先进的离子光束焦点在细分辨率图像样本。
该项目包括四组。第一组是开发新的纳米材料。第二组是开发新的离子来源或其他地区的一个谎。另一组希望获得更好的理解离子和固体之间的交互。第四组将促进研究结果。
“聚焦离子光束为在纳米技术方面的许多应用程序提供巨大的潜力,”格雷戈尔Hlawacek说,离子感应纳米结构组主管HZDR离子束物理和材料研究所的研究,和FIT4NANO项目的协调员。“例如,它可以用于灵活结构表面在纳米尺度上或专门改变当地材料属性。我们的技术可以显著的量子技术,半导体行业,或修改组成的二维材料,水晶材料只有一个或几层原子或分子。小谎也将扮演一个重要的角色在未来医学应用。”
氢脱钝光刻
位于达拉斯的德克萨斯大学开发了一种技术来开发硅基量子设备使用氢脱钝光刻(HDL)。
项目的目标是消除发展中的一个量子位的一些挑战,这是一个基本单位的信息在一个量子计算机。
高密度脂蛋白有时被称为无抵抗力的光刻技术。在这个过程中,氢原子在硅表面形成。实际上,氢原子作为抵制。然后,利用扫描隧道显微镜(STM),提示注入电子从表面上看,这打破了债券和形式结构模式。
与此同时,量子计算是不同的比传统的计算。在经典计算中,信息存储在比特,可以“0”或“1”。然而在量子计算,量子比特信息存储在,或量子位可以存在“0”或“1”或两者的结合。
叠加态使量子计算机能够执行数百万的计算,使它优于传统的系统。但量子计算仍处于起步阶段,还有很长的路要走。
德克萨斯大学的研究人员已经找到一种方法,为硅基量子比特的发展提供更好的控制。
在实验室中,研究人员开始与硅表面。然后,他们表面涂一层氢。然后,使用尖端的STM,氢原子是删除或操纵从表面上看,基于设备的理想模式。
不过有时,STM可以删除错误的原子,创建一个错误的设备。在反应中,研究人员正在研究一种更精确的方法操纵原子。接下来的挑战之一将是开发一种技术,经营多个STM技巧。
“传统光刻技术无法实现必要的原子精度。问题是,我们使用的是光刻显微镜;我们使用一个设备做一些不是设计,”詹姆斯·冯·Reza Moheimani说Ehr杰出的椅子在科学和技术和系统工程的教授埃里克·琼森学院的德州大学的工程和计算机科学。“我们最新的工作增加了制造过程的精度。我们也努力增加吞吐量,速度和可靠性。”
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谢谢你分享这个前瞻性文章。
这是一个很好的未来光刻技术的方向。它可能产生更好的成像和减少足迹相比EUV光刻。