制造业:8月27日

全息光刻技术
瑞士的纳米技术SWHL GmbH是一家已经出来的隐身模式和披露最初技术-全息光刻系统。

成立于2015年,纳米技术SWHL已经开发出一种sub-wavelength全息光刻系统,生成并打印3 d图像与一个面具在接触表面。还在研发,系统最初是针对先进包装、微机电系统和传感器。在未来,它还说能够在7纳米加工设备和下面。

如果成功的话,这项技术承诺减少对光刻的所有权成本。据说有一个4 x在同一分辨率和较低的成本比传统的系统吞吐量。

技术比传统的光刻工具不同,使用的光源和光学印小晶片功能。它还利用光掩模,这是一个集成电路设计的模板。

全息光刻技术是不同的概念。全息图是一种形象,看起来就像一个三维的形状。它使用激光照明的3 d图像。简单来说,全息图像出现以下两个phases-recording和重建。一个对象和一个参考波记录在感光板上。然后,板与重建波照明。

基于大致相同的想法,纳米技术SWHL已经开发了一种全息步进和全息面具。公司很快指出,这不是干涉的光刻技术发展,创建周期性图像表面。

你需要的全息步进产生任何图像。系统不使用投影透镜。相反,照明器的系统由三个简单的镜头和全息掩模。

这项技术是基于波动光学的原则。它还使用衍射创建图像。Sub-wavelength全息光刻“使用期刊的相干光通过全息掩模,然后影响晶片与光阻,从而创建所需的形象,“根据纳米技术SWHL白皮书。

投影镜头的全息掩模结合了功能和面具本身。“全息掩模是一种衍射光学元件(DOE),即,一个透明板衍射显微组织是捏造的,改变入射电磁波的振幅和/或阶段指定的方式。衍射显微组织结果的模式从相应的合成,所以全息掩模是一个计算机生成全息图(CGH),“根据纸。

在实验室里,研发全息步进重建图像与cd 250海里。生成的图像重建波NA的0.53在波长441.6海里。

在全息步进操作,生成一个通过激光光束。这是由系统的镜子。光进入光束扩展器,它包含一个微客观、针孔和抛物柱面镜。

“微目的的焦距抛物面镜的焦距指1:50。高斯光束扩展是照亮学生的主要镜头和强度在全息掩模孔的边缘强度的中心在20%水平。全息掩模可以适应与不均匀照明,”根据。“扩展梁反映的主要镜头利用平面镜。的主要透镜会聚光束形式接近球面波前。会聚光束照明全息掩模,从而重建图像。图像可以是暴露在硅片上涂有光刻胶或CMOS摄像头实时捕捉到。”

公司设计了一种合成全息面具进入3 d图像,如柱面微透镜和不同直径的数组。这反过来可以用于模式MEMS结构、微流体系统等等。

纳米技术SWHL的发展合作伙伴包括电子探针,二者,弗劳恩霍夫,ENAS和风险踢。纳米技术系列SWHL正在寻求资金来完成其全息工具,和高端发展项目提供资金。

EUV存储环
一个研究小组已经提供了一个更新的持续努力开发一种存储环技术,总有一天会被用作电源极端紫外线光刻技术(EUV)。

在计量光源(MLS)在柏林,该组织已经展示了一种“概念验证”测试使用一种称为稳态microbunching的技术(SSMB)。实验是在合作进行的清华大学和美国职业足球大联盟。

结果是领域的SSMB EUV承诺。今天的EUV光刻扫描仪ASML使用一个集成的电源。该公司最新的系统有一个246瓦的电源有13海里决议。该工具的吞吐量为170 (wph)晶圆一个小时。

长期来看,该行业想要更高的EUV电源。ASML正在开发这些系统的研发,而其他人正在探索使用权力巨大的储存环EUV扫描仪。

2014年,一组设计了基于SSMB EUV存储的概念。理论上,一个SSMB存储环EUV周长是50米和运行在400 -兆电子伏。戒指可以由2 - 6 EUV扫描仪。每个EUV工具可以产生1 kw的电力。

“SSMB的基本思想是控制梁的动态存储环这不是传统的高斯分布,但microbunched,”Alex曹国伟说,是谁带头的研究。“SSMB的整个概念在于发明一种方法使梁microbunched并保持microbunched逐向道路环境的存储戒指。”

曹国伟,物理学教授线性在斯坦福大学,今年退休。

2017年,曹国伟和其他人开始与清华大学和美国合作。MLS附近贝茜II存储在Berlin-Adlershof环工厂,德国。它是由报道Bundesanstalt (PTB),德国的国家计量院。

现在,该组织已经发布了第一个SSMB的概念验证测试。这是进行一个实验在一个小型存储戒指在美国职业足球大联盟。实验是清华大学和美国之间的合作。

“它使用MLS第一SSMB试验台原理。一个激光microbunched电子束环是由流通,”赵说。“主要的结果是,我们成功地检测到下一次革命的激光辐射,建立SSMB机制的第一步。”

有一个警告。“概念验证测试没有使用EUV。辐射在1微米辐射。所以我们不是声称EUV是可用的。但是请继续关注,”曹说。“我们认为这对SSMB关键一步。是初步的信号。预计频率过滤将增强signal-to-background的一大因素。MLS的实验仍在继续。”

SSMB信号来源:亚历克斯超

更多的信号!来源:亚历克斯超

浸没式印刷
的新加坡大学的技术和设计已经开发了一个3 d印刷方法制作三维多孔模型在一个步骤。

的技术,称为浸没沉淀3 d打印(ip3DP),涉及专业油墨含有聚合物。使用3 d打印机,无溶剂的油墨印刷在洗澡。然后,通过浸没沉淀印刷墨水凝固。这反过来产生多孔结构在micro-to-nano鳞片。

“这项工作是第一个演示基于数控三维控制浸没沉淀的口供的材料,“拉胡尔Karyappa说,研究员。