为什么只是把泵的速度并不是那么简单。
流程设计人员往往认为对废气的过程。室排气发送工厂的废水气体洗涤塔,这是差不多。
除非它不是。事实证明“肾上腺脑白质退化症”的设计过程可以使生活更有挑战性的室排水泵。
在原子层沉积,第一前体气体,如纤维,形成一个自我限制的晶片表面的单层。后第一个前驱从进程环境中移除,氧化气体、水和臭氧等与单层反应生成氧化铪。根据室设计、晶圆(或晶片,在批处理系统)可以旋转过程之间的区域,一个充满前体和其他与前体b或晶片可以保持静止,而商会充斥着两个前体。
无论哪种方式,排气系统负责确保两个前体只有在晶片表面相互作用,不是室侧壁和排气系统本身。这可能是一个挑战,因为迈克沼泽爱德华兹真空解释道。多余的前体哪里去了?例如,减少周期时间在发育系统中,设备设计师都想流前体气体连续区域,只是分流多余的排气系统。即使在一个单层系统,低波动性前体的影响使它理想的继续气源的。
记住,虽然co-reactive前体气体。如果前体尚未完全撤离前体B流入过程室时,生成的氧化铪的形式可以在晶片土地粒子。如果泵充满前体当前体B开始流入,可能的结果是一个泵充满氧化铪的灰尘。泵不仅能抓住,但背压可以强制氧化尘埃回到室。如果泵内的环境温度过高,前体可以分解;过低,它可以压缩和其他反应物的流动时仍然存在。
根据沼泽,防止这些问题的关键是提高泵的速度和分离两个前体材料。设备制造商需要一些令人信服的,因为增加了室内疏散时间必然增加过程周期时间。安装额外的泵可以帮助,但只有在某种程度上。
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