使用虚拟制造克服的局限性PVD 16 nm。
物理气相沉积(PVD) Back-End-of-Line (BEOL)金属化是被推到极限16-nanometer (nm)技术节点和超越。延长PVD种子沉积金属衬套和障碍迫使进程进入了一个狭窄的窗口必须之前制造特征的介绍。此外,了解班轮依赖海沟和通过刻蚀剖面有助于识别过程要求最大化窗口过程。破坏性的表征需要正确定义流程窗口分析资源带来了严重的挑战。与3 d虚拟制造过程建模平台可以克服这个障碍。假设M1-V1-M2 BEOL通过链用于演示SEMulator3D 2013平台的新功能的价值,预测设计技术建模、变异分析和定量数据提取。
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