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在先进的节点设计中应对变化


变化正在成为一个主要的头痛高级节点,和问题,用来处理工厂现在必须处理在设计方面,。从根本上改变的是利润,长期以来一直作为一个缓冲区的变化和其他制造业流程相关问题,不再在这些前沿设计工作是有原因的。首先,保证金im……»阅读更多

Back-End-of-Line (BEOL)金属化


物理气相沉积(PVD) Back-End-of-Line (BEOL)金属化是被推到极限16-nanometer (nm)技术节点和超越。延长PVD种子沉积金属衬套和障碍迫使进程进入了一个狭窄的窗口必须之前制造特征的介绍。此外,了解班轮依赖沟,通过腐蚀……»阅读更多

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