减少常见金属和粒子污染问题和防止腐蚀。
每个过渡到一个新的技术节点,金属和粒子污染工厂要求变得更加严格,构成挑战现有的涂层阳极处理或等离子喷涂等方法可能不提供完整的保护污染尤其是关键室组件与复杂的几何形状。
半了Beneq业务主管萨米人扣上常见的金属和粒子污染问题的关键部件室,涂层抗腐蚀的保护方法和属性来寻找在选择最优保护涂层解决方案。
扣上讨论了独特的原子层沉积(ALD)防腐蚀涂料的好处与氧化铝(氧化铝)和氧化钇(Y2O3)和提供建议如何使用原始设备制造商(OEM)的合作伙伴设计、测试和实现一个ALD涂层半导体设备的解决方案。
要了解更多,请访问Beneq数字展台半技术联合全球峰会直到2021年3月26日,可以随需应变。注册是开放的。
半:ALD如何与其他涂层阳极化和等离子喷涂等方法吗?
扣上:ALD使保形密集和复杂形状pinhole-free涂料。我们可以存款各种ALD涂料在各种材料制成的零件。所有其他涂层技术的局限性。例如,阳极处理是保形,但多孔和适用于氧化铝用于铝部件。等离子喷涂是一种视距法和不保形复杂的形状,例如洞莲蓬头部分。
半:基质材料为ALD涂料工作?
扣上:一般来说,部分由常见的金属材料,如铝,不锈钢,钛,所有工作与ALD涂料。常用的陶瓷材料与退化也很管用。塑料材料需要涂层一般在较低的温度下,这限制了涂层材料的选择,但材料,如氧化铝可以应用。
半:什么是最大的涂层厚度可以达到“肾上腺脑白质退化症”?这取决于材料吗?
扣上:是的,确实。最大的涂层厚度取决于材料的一部分,我们是涂层。高分子材料为例,有一个非常大的热膨胀系数,这限制了实际涂层厚度100纳米级别。在金属和陶瓷零件,涂料的几个微米也是可能的。通常,ALD室组件上的涂层厚度范围从几百纳米到1微米。
半:长宽比你能用“肾上腺脑白质退化症”的外套吗?
扣上:基本上,ALD外套可以大展身手的纵横比,但这将是极其缓慢的。在实践中,一些最复杂的部分是用小洞莲蓬头部件。通常,这些100:1周围的长宽比,完全是商业上可行的退化。
一个极端的例子是天然气管道:在这种情况下,比例可能也100:1周围,但物理距离一端中间可能是半米。在这方面,它不是实际等气体扩散达到这样的一个深度水平。相反,天然气管道可以通过迫使涂布ALD前体气体流入气体线部分。这个工作很好,但需要part-specific导管引导气体。
半:ALD涂层的寿命比其他涂料吗?
扣上:ALD涂料不同于其他涂料的方法。首先,ALD涂料产生的粒子污染因为它们无孔。其次,最重要的是,其他涂料无法ALD涂料覆盖领域。什么被认为是一生的某个部分取决于多种因素。最终,一生需要确认测试部分在实际过程中室通过运行大量的晶片通过商会和监控等关键参数粒子水平和产量。
半:如果您有多个货架部分反应室,货架位置影响涂层均匀性如何?中心架比顶部和底部架子吗?
扣上:一致性取决于许多参数,包括几何部分,部分支架几何、批量大小和涂层材料。当货架支持部分优化设计和气流均匀所有货架,所有货架上从上到下显示类似的一致性。
半:有交叉污染的风险吗?
扣上:交叉污染可能造成的部分自己或由不同的涂层材料。批处理设置是固定在生产中使用,这就意味着每批零件是相同的。唯一的变化是,批处理可能不是完全在某些情况下,但我们不填满空的批处理的一部分,其他部分可能导致污染为了防止污染类型到另一部分。交叉污染的涂料不是通常的担忧,但可以避免通过使用专用的反应室不同的涂层材料。这是很容易与Beneq P800。
访问免费的网络研讨会记录并发现最新的防腐涂料制程解决方案和独特的好处(原子层沉积)。这个研讨会是特别有利于工艺工程师、设备工程师和其他负责污染控制和设备产量。
萨米乱石管理Beneq半导体涂层部分业务。此后他于2005年加入Beneq和举办各种专业和管理职位,包括产品经理、应用程序管理器,ALD集团主管、销售主管,主管亚洲。他获得理学硕士学位(化学工程从2001年赫尔辛基科技大学。扣上有特殊专长原子层沉积技术和业务的发展。他发挥了至关重要的作用在各种ALD生产概念和解决方案介绍给几个行业从珠宝到光电、电子和半导体。
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