ALD涂料为关键室组件


每个过渡到一个新的技术节点,金属和粒子污染工厂要求变得更加严格,构成挑战现有的涂层阳极处理或等离子喷涂等方法可能不提供完整的保护污染尤其是关键室组件与复杂的几何形状。半Beneq商业执行官萨米乱石谈到……»阅读更多

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