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N7 FinFET自对准四模式建模

鳍球场散步基于流程建模仿真评估对各种自对准四模式流程步骤的影响。

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本文模型鳍球场走基于流程模拟使用Coventor SEMulator3D虚拟平台。鳍的锥角核心引入模型与硅提供良好的协议数据。对各种自对准的影响模式评估流程步骤4倍。腐蚀敏感模式密度是复制模型中,并提供有关翅片高度变异性的影响。

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