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MEMS在SOI -快速增长越来越快

MEMS在SOI设计师所做的奇妙的东西。“SOI MEMS:一个有前途的材料”,博士的埃里克Mounier Yole开发署、指出,SOI MEMS发展(2011 - 2015)的复合年增长率为15.6%,而8.1%大部分硅的解决方案。这是为什么。

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由阿黛尔神秘圣地

在最新的ASN发布博士Eric Mounier Yole开发署。”SOI MEMS:一个有前途的材料”,他指出,SOI MEMS发展(2011 - 2015)的复合年增长率为15.6%,而8.1%大部分硅的解决方案。

MEMS设计师做出令人惊叹的SOI -这将解释令人印象深刻的增长速度。

第一个应用程序的小SOI-MEMS Nanopump™是治疗糖尿病。(礼貌:Debiotech)

我最喜欢的一个Debiotech Nanopump微小的胰岛素由圣(tm)针对糖尿病、外事局Debiotech的Laurent-Dominique Piveteau指出,“…使用SOI晶片制造Nanopump MEMS设备具有重要的医学和经济优势。SOI-based结构允许最高可靠性尽可能最小的方案,使泵机制的严格控制和精确。流量稳定,对压力、温度、粘度和老化。它还提供了极端计量精度。”

原因被其他贡献者对MEMS使用SOI包括:

  • 消除应力问题常见的多晶硅;
  • 确保定义良好的膜厚度更准确的振荡频率的移动部件;
  • 提供更大的表面和井壁光滑;
  • 使薄结构;
  • 提高MEMS组件的热导率。

但底线是,它先进的MEMS设备最具成本效益的解决方案。

MEMS也在两个最近的ASN Buzz的帖子:

在接下来的几周内,我们也会发布一个新的文章由Soitec智能堆积(tm)技术对下一代的MEMS pre-etched蛀牙,等等。

如果你想看到更多的为什么和所以的SOI-MEMS应用,只是类型“MEMS”ASN的搜索引擎。你会得到许多碎片和领导人,阿迪,日本电装,VTI,定速,IBM和更多。

VTI SOI-MEMS的多轴加速度计是“跨步传感器芯片”miCoach实时训练系统(礼貌:VTI技术、阿迪达斯和三星)

这是一个非常分散的世界,不过,如果你知道酷SOI-MEMS应用我们应该覆盖,你会让我知道吗?



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