日本国家计量研究所(NMIJ)和国家先进工业科学技术研究所(AIST)的研究人员发表了一篇题为“使用原子力显微镜和倾斜技术提高光刻胶三维侧壁测量的精度”的新技术论文。
“我们开发了一种使用原子力显微镜(AFM)测量抗蚀剂侧壁的技术，可以实现三维(3D)、高分辨率、低噪声和无损测量。使用扫描电子显微镜(SEM)的传统LER测量技术会由于电子束(EB)暴露而导致抗蚀剂图案的收缩，而我们的新AFM技术原则上可以避免EB引起的收缩。”
找到这里是技术文件．2023年2月出版。
Kizu, Ryosuke等，“利用尖端倾斜技术，利用原子力显微镜提高光刻胶三维侧壁测量的精度。”应用物理杂志133.6(2023): 065302。
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