自由电子激光EUV财团;3 d打印的鱼;乐高afm。
自由电子激光EUV财团
极端紫外线(EUV)光刻是延迟。芯片制造商希望插入EUV 7 nm节点,但这并不是一个给定的。像以前一样,最大的问题是EUV光源。到目前为止,不能产生足够的力量来源,使所需的吞吐量EUV大批量生产。
阿斯麦的当前EUV源操作在80瓦,一年前从10瓦。然而,芯片制造商希望250瓦的电力将EUV进入大规模生产。
今天,有各种各样的努力解决这个问题。例如,ASML和Gigaphoton分别工作在更高的能量EUV来源。
然后,有新的和不同的方法。例如,行业协会是开发新一代两年前悄然形成,自由电子激光技术专门为EUV(恶魔)。恶魔EUV财团包括线性,劳伦斯,费米实验室,阿贡,康奈尔大学,加州大学洛杉矶分校,RadiaBeam, AES和RadiaSoft。
从今年开始,恶魔EUV财团加紧活动。和该集团透露更多细节计划在2015年的EUVL车间6月。
传统上,每个EUV工具需要一个EUV电源。相比之下,使用x射线技术,恶魔概念利用线性加速器电子束产生大电流。理论上,一个恶魔可以产生千瓦功率水平。总而言之,一个恶魔能产生足够的电力为多个EUV工具在同一设施。
恶魔的EUV财团,该集团正在研究利用线性下一代恶魔x射线源,被称为LCLS-II。这是一个线性的升级现有的(拼箱)。由美国能源部(DOE)几年前,拼箱是世界上第一个x射线自由电子激光(XFEL)。
LCLS-II正在开发的一部分,由美国能源部,但完工日期仍然不清楚。“时间表LCLS-II才能完成能源部的关键决策(CD) 2和CD-3评论,预计明年的某个时候发生,”据一位发言人SLAC国家加速器实验室。
恶魔EUV财团将利用LCLS-II,但这是一个单独的和独立的活动。在任何情况下,有两种基本类型的EUV恶魔topologies-straight射击恶魔和能量回收直线加速器(ERL)胆汁。“我们的财团是比较看坦白正直的恶魔,”屈里曼亚伦说,在SLAC国家加速器实验室的资深科学家。“联盟的目标是应用当前最先进的超导恶魔技术,并应用这EUV光刻交付13.5纳米光刻所需辐射。”
恶魔EUV财团希望开发一个10 kw坦白正直的拓扑。每个成员的联盟发展的线性系统,它由下列组件high-repetition-rate photoinjector;连续波超导直线加速器;永久磁铁波纹机;和高功率光束转储。
该集团希望开发所有主要技术加速器系统的EUV恶魔,到2017年,根据该财团成员。
3 d打印的鱼
的加州大学圣地亚哥已经开发了一个3 d打印技术呢都有微型机器人。
3 d打印的鱼,被称为microfish,可能需要在几个不同的鱼一样的形状,如鲨和蝠鲼。液体的3 d打印的鱼会游泳。它们的化学性质由过氧化氢和磁控制。他们可以用于生物技术的应用程序,如排毒、传感和药物输送。
3 d打印microfish包含功能性纳米粒子使他们自航。(图片来源:j·华纳,加州大学圣地亚哥分校)
科学家开发出了一种3 d打印技术称为微尺度连续光印刷(μCOP)。与技术,研究人员可以打印数组包含数百microfish。鱼可以测量120微米长,30微米厚。
μCOP技术利用数字微镜阵列设备(DMD)芯片。MEMS-like设备包含大约200万个微镜。每个微镜单独控制项目紫外线模式。使用感光材料,microfish构建一次一层。
“我们已经开发出一种全新的方法来工程师产品表面微观游泳者复杂的几何结构和小于人类头发的宽度。通过这种方法,我们可以很容易地集成不同的功能在这些微小的机器人游泳对于广泛的应用程序,“魏朱说,雅各布斯工程学院的博士生在加州大学圣地亚哥分校,在大学的网站上。
乐高afm
2003年,学生建立了原子力显微镜(afm)或毫微秒示波器使用玩具乐高玩具。afm成本不到500美元。
相同的组织赞助的第一个工作是开始一个新项目。新项目,被称为LEGO2NANO,涉及到学生的伦敦大学学院(UCL)以及学生来自北京、波士顿和台湾。他们正在开会清华大学北京和深圳校园。
LEGO2NANO将开发开放AFM等低成本的科学仪器。这是一个开源的AFM组装从廉价、现成的电子元件,如Arduino,乐高和3 d打印的部分。
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