一篇名为“集成硅光子MEMS”的新技术论文由EPFL，悉尼大学，CSEM, KTH皇家理工学院，根特大学，Imec和廷德尔国家研究所的研究人员发表。
摘要摘录
“在这里，我们推出了一个硅光子MEMS平台，该平台由高性能纳米光电机电设备与标准硅光子代工组件完全集成组成，具有长期可靠性的晶圆级密封，倒装芯片连接到再分配中间层，以及用于高端口计数光学和电气接口的光纤阵列连接。我们的基本硅光子MEMS电路元件的实验演示，包括功率耦合器，移相器和使用标准化技术的波分复用设备，消除了以前的障碍，使扩展到非常大的光子集成电路应用于电信，神经形态计算，传感，可编程光子学和量子计算。”
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Quack, N.， Takabayashi, A.Y.， Sattari, H.等。集成硅光子MEMS。微系统学报，2009,27(2023)。https://doi.org/10.1038/s41378 - 023 - 00498 - z。
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